FUSION UV燈電源控制器維修LHP10 LH6BPS

時間：2023-04-17作者：北京天浦正達電子科技有限公司瀏覽：347

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  詞條說明

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  維修范圍：刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統，工業系統中感應加熱和電介質加熱設備的電源，烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領域應用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息設備(ITE)及輕工業系統、鍍膜設備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修，為太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設備電源，包括直流、高壓、脈

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  AE射頻匹配器維修 AE Navigator 10013先檢查射頻電源匹配器的外觀是否有明顯的損傷或異常。評估其工作環境，如溫度、濕度等是否適宜。檢查電源連接線路是否牢固，無松動或破損。使用測試儀器，如功率計，對射頻電源匹配器的功率輸出進行測試。記錄實際輸出功率，并與標稱功率進行比較，確定偏差范圍。根據測試結果，對射頻匹配器內部電路進行故障排查。檢查電源模塊、功率放大器等關鍵部件是否存在故障。使用