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等離子體CMOS工藝中應用于集成電路制造中WAT方法研究


    深圳子柒科技有限公司專注于等離子表面處理機,全自動點膠機,等離子清洗機等

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  • 等離子體CMOS工藝中應用于集成電路制造中WAT方法研究

    WAT(Wafer Accept Test)即硅圓片接收測試,就是在半導體硅片完成所有的制程工藝后,對硅圓片上的各種測試結構進行電性測試,它是反映產品質量的一種手段,是產品入庫前進行的一道質量檢驗。? ? ? ??伴隨著半導體技術的發展,等離子體工藝已廣泛應用于集成電路制造中,離子注入、干法刻蝕、干法去膠、UV輻射、薄膜淀積等都可能會引入等離子體損

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  • 采用低溫等離子設備,可獲取相對薄的高張力表層涂層

    ? ?目前,低溫等離子設備廣泛應用于各種生產領域。比如,材料表面處理(塑料表面處理、金屬表面處理、鋁表面處理、印刷、涂布和粘接前等離子表面處理),其主要作用是清潔材料表層,改善表層的附著力和粘接性。等離子體技術得到了廣泛的使用,并成為了業界普遍關注的核心。采用這種創新的表層處理工藝,可以達到現代制造技術所追求的高質量、高可靠性、率、、環保的目標。? ? &n

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