性能指標:分辨率: 3.0nm (30kV, SE image) 10nm(3KV,SE image)????????????????? 4.0nm (30kV, BSE image) 可選放大倍數:10x~300,000x(WD=5mm)加速電壓 0.5kV~30kV電子槍:三級自給偏壓,偏壓電阻可自動/手動調節,預對中發叉式鎢絲陰極透鏡系統: 三級電磁透鏡 2 個聚光鏡,一個園錐形物鏡物鏡光闌: 4 孔可變光闌,搖擺對中合軸圖像電位移和電旋轉: ±50 ? (WD: 10 ㎜); 0-360°無限樣品室: 內徑φ210mm ,可擴展接配EDS,BSE,WDS 等探測器樣品臺及行程:??計算機導航五軸自動機械對中樣品臺????????????????????????????? X: 65 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~65 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°較大樣品尺寸:130mm(直徑) X 71mm (高度)樣品臺控制方式: 自動/手動操作系統: PCI、USB 接口的PC 機控制, 奔騰4 兼容機,Windows XP, 19 英寸彩色顯示器,圖形用戶界面(GUI)嵌入多種圖像實時分析測量工具,鼠標鍵盤操作自動功能: 自動聚焦,自動亮度對比度,自動消象散,自動電子束對中,自動物鏡光闌合軸,自動電子槍加飽和,自動電子槍偏壓,動態聚焦,傾斜補償。掃描模式:屏幕選區模式: 320 x 240 像素????????????????TV 屏幕掃描模式:640 x 480 像素??????????????? 全屏慢掃描模式: 800 x 600 像素 (3 檔速度)??????????????? 分屏掃描模式:1200 x 600 像素 (SE BSE 雙信號)????????????????全屏照相獲取模式 1: 1280 x 960,2560 x 1920,5120 x 3840 像素????????????????波形觀察模式圖像格式 JPG, TIFF, BMP語言 英語真空系統:全自動高真空系統,樣品室處真空度優于1x10-5 Torr,真空度實時顯示.渦輪分子泵260 升/秒 + 旋片式機械泵100L/min外形尺寸和重量:主機: 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 350 ㎏?????????????????????????????電腦桌: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏安裝要求:電源 AC 220V, 60Hz, 2kVA地線:獨立地線1 條,小于等于100Ω溫度:15℃~30℃濕度:小于等于70 %交流磁場:小于等于0.3 uT地面振動:5 um/sec Max.門寬 900mm 或更寬 如有需要請與我司聯系 金溢電子(中國香港)有限公司 深圳市福田保稅區英達利數碼科技園B座210室 電話:0755-82838457/82838458 Q E-MAILL:1211991706@ 聯系人:劉小姐13927481201
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詞條說明
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公司名: 上海廣志自動化設備有限公司
聯系人: 張克躍
電 話: 15618182735
手 機: 13621865316
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地 址: 上海松江新拓路409號
郵 編:
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