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半導體元器件失效分析性測試?2024年07月08日 15:32?北京DECAP:即開封,業內也稱開蓋,開帽。是指將完整封裝的IC做局部腐蝕,使得IC可以暴露出來 ,同時保持芯片功能的完整無損,為下一步芯片失效分析實驗做準備,方便觀察或做其他測試。通過芯片開封,我們可以為直觀的觀察到芯片內部結構,從而結合OM,X-RAY等設備分析判斷樣品的異常點位和失效的可能原因。開封方法及注意
金相試樣制備及常見問題 金相分析是研究材料內部組織結構的重要方法,一般用來進行失效分析(FA)、質量控制(QC)、研發(RD)等。而金相試樣制備的目的是獲得材料內部真實的組織結構,需要通過不同的金相試樣制備方法去完成。 一般來說,金相試樣制備的方法有:機械法(傳統意義上的機械制備--磨拋)、電解法(電解拋光和浸蝕)、化學法(化學浸蝕)、化學機械法(化學作用和機械作用同時去除材料)。 金相試樣制備的
樣品托 · 標準多功能樣品托,以*特方式直接安裝到樣品臺上,可容納18個標準樣品托架(φ12mm)、3個預傾斜樣品托、 2個垂直和2個預傾斜側排托架*(38°和90°),樣品安裝 *工具 · 每個可選的側排托架可容納6個S/TEM銅網 · 各種晶片和定制化樣品托可按要求提供* 系統控制 · 64位GUI(s 7)、鍵盤、光學鼠標 · 可同時激活多達4個視圖,分別顯示不同束圖像和/或信號, 真彩信
聚焦離子束FIB詳解 1.引言 隨著納米科技的發展,納米尺度制造業發展*,而納米加工就是納米制造業的**部分,納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發展起來的聚焦離子束(FIB)技術利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工,配合掃描電鏡(SEM)等高倍數電子顯微鏡實時觀察,成為了納米級分析、制造的主要方法。目前已廣泛應用于半導體集成電路修改、切割和故障分析等。 2.工作原理 聚焦離子束(ed
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