詞條
詞條說(shuō)明
?普旭真空泵排除方法:?????(1)如泵的轉(zhuǎn)速不夠,且抽氣量是與泵的轉(zhuǎn)速成正比,則泵的抽氣量就會(huì)下降。這有兩種情況;一種情況是泵的轉(zhuǎn)速未配備好,也就是皮帶輪的直徑不合適,可更換皮帶輪,改變皮帶輪的直徑;另一種情況可能是皮帶安裝不當(dāng)、未張緊,皮帶打滑而降低了轉(zhuǎn)速,這可調(diào)節(jié)電機(jī)位置,使皮帶張到一定緊度。???&
維護(hù)與保養(yǎng)1、潤(rùn)滑油的規(guī)范及換油步驟潤(rùn)滑油主要有三個(gè)作用:潤(rùn)滑、密封、冷卻。潤(rùn)滑作用:潤(rùn)滑油可以在泵蓋、轉(zhuǎn)子、葉片、泵體之間形成油膜,避免了相互間的直接接觸,減少摩擦。密封作用:潤(rùn)滑油產(chǎn)生的油膜能對(duì)真空泵起到密封作用,提高了真空泵的效率。冷卻作用:潤(rùn)滑油吸收了大量的圧縮熱,使壓縮過(guò)程接近于等溫壓縮,降低了真空泵的功率。另外:潤(rùn)滑油還能降低高頻壓縮所產(chǎn)生的噪音。?2、日常保養(yǎng)每日或每次運(yùn)轉(zhuǎn)
【普旭真空泵的使用說(shuō)明】普旭真空泵使用說(shuō)明
普旭真空泵使用說(shuō)明:?????新泵安裝就位后先查看油位,齒輪側(cè)油位以油面浸沒(méi)3-5齒為宜,電機(jī)側(cè)以油窗中心略高為宜,軸伸上油杯不應(yīng)缺油,各部位潤(rùn)滑油均采用1號(hào)真空泵油。?????1、真空泵啟動(dòng)程序:?????(1)啟動(dòng)前級(jí)泵。??
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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