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詞條說明
*的用旋片式真空泵串接擴散泵即可.泵的抽速選擇,由真空室大小以及真空確定.一般是兩臺旋片式真空泵+一臺擴散泵組成.一臺旋片式真空泵直抽真空室,另一臺抽擴散泵.當真空室到5Pa以下,并且擴散泵預熱后,切換到擴散泵抽真空室.因為擴散泵有冷阱,所以泵油不會污染真空室.假如有錢,就用分子泵代替擴散泵.不用預熱.并且徹底無油.
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
水環泵的優點:水環泵和其它類型的機械真空泵相比有如下優點,結構簡單,制造精度要求不高,*加工。結構緊湊,泵的轉數較高,一般可與電動機直聯,無須減速裝置。故用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內沒有金屬磨擦表面,無須對泵內進行潤滑,而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻,工作平穩可靠,操作簡單,維
壓強范圍真空泵種類?工作壓強范圍(Pa)?起動壓強(Pa)活塞式真空泵?1×105~1.3×102?1×105旋片式真空泵?1×105—6.7×10-1?1×105水環式真空泵?1×105—2.7×103?1×105羅茨真空泵?1.3×103—1.3?1.3×103渦輪分子泵1.3—1.3×10-5
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
電 話: 17502155678
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微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
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網 址: shm159861.b2b168.com
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