基于真空探針臺的紅外焦平面自動測試的關鍵技術研究

時間：2023-10-07

作者：鄭州科探儀器設備有限公司

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基于真空探針臺的紅外焦平面自動測試的關鍵技術研究
紅外熱成像技術由于自身各種優勢在軍事領域和民用領域有著廣闊的應用前景,因此備受各國重視,競相發展相關技術。? ? 由于國外對紅外熱成像技術的研究比較早,而我國在紅外熱成像技術領域起步較晚,所以差距很大。近年來我國在紅外熱成像技術的相關領域**了一些進展,但很多方面還是遠遠落后于世界水平。? ? 因此,還需要加快紅外熱成像技術的研究。本課題以加快紅外熱成像技術
快速退火爐系統設計與實現
快速退火爐是現代大規模集成電路生產工藝過程中的關鍵裝備? ? ?主要用于離子注入后雜質的、淺結制作、生長高質量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術的飛速發展,開展快速退火爐系統的技術研究,對國內開發和研究具有自主知識產權的快速退火爐裝備,有著十分重要的理論意義和工程應用**。? ? ? 本文針對現代半導體器件退火工藝
探針臺精準控制關鍵技術研究
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1. 自我診斷技術自我診斷技術是在不停機或基本不拆機的情況下，通過各種檢測分析來判斷設備狀態是否正常，異常或故障的原因、部位、程度以及壽命的預測。自我診斷技術的主要作用是獲得設備的結果狀態信息，即根據設備在各種工況下，表現出來的精度**差，零點漂移，內漏等所有狀態信息的綜合分析來識別產品的狀態、異常類型和異常的嚴重程度，其本質是一個包含信號、信息提取、信息綜合、故障識別和信息利用的過程。自我診斷的目