Femtum中紅外納秒光纖激光器對薄膜加工的應用表現

時間：2022-08-31

作者：深圳維爾克斯光電有限公司

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詞條
詞條說明
基于散射片的激光勻化的典型應用和使用案例
寬帶勻光片是一種是高效、低成本、大體積均勻化中低功率激光束的最佳解決方案，從其名稱可以推斷，適合寬波段激光勻化使用。寬帶勻化片是一種無序微透鏡陣列，添加了隨機函數，可修改微透鏡陣列的凹陷和曲率，旨在將非均勻激光束均勻化為更均勻的均勻化強度分布。與有序微透鏡陣列相比，寬帶散射片沒有有序偽影，因此提供了更好的均勻性。與隨機光束勻化器可以產生沒有明顯邊緣的高斯圓形形狀不同的是，寬帶勻光片的優勢在于，可以
線激光元件被用于晶圓檢測
在半導體行業中，極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題，這會降低產量并耗費生產的時間和成本。因此，檢測半導體晶圓表面的缺陷和污染至關重要，這是在半導體計量行業許多客戶面臨的挑戰。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷，通常在深紫外（DUV）波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中，Holoor指出當線沿徑向掃描時，晶圓旋轉，產生晶圓的大面積采樣，從而
激光增材制造領域中的光束擴散器的應用
光束擴散器是一種光學組件，可將通過它們傳播的光束的照明模式改變為所需的光強度分布。本文介紹了一些利用激光束整形優勢的增材制造新方法。光束擴散器增材制造的簡單描述增材制造(AM)是指各種技術，其中材料層在計算機控制的過程中相互疊加，以從CAD或其他方式生成的3D模型形成三維對象，而不是傳統的“減材制造”，其中材料通常被去除。AM加工是通過制造輕、強的零件和系統，與傳統方法相比具有一些固有的優勢。隨著
波片和延遲器的定義和制造安裝方式
波片的術語和規格雙折射-波片由雙折射材料制成，最常見的是石英晶體。雙折射材料對于在不同方向上偏振的光具有略微不同的折射率。因此，它們將入射的非偏振光分成平行和正交分量（圖?1）。圖?1：雙折射方解石晶體分離非偏振光快軸和慢軸Fast Axis and Slow Axis-沿快軸偏振的光遇到較低的折射率并且比沿慢軸偏振的光更快地穿過波片。快軸由未安裝波片的快軸直徑上的小平點或圓點