等離子清洗機對晶圓的預處理

時間：2022-05-25

作者：煙臺金鷹科技有限公司

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詞條
詞條說明
等離子清洗機應用于電子FPC行業
等離子清洗機表面活化，如果材料粘接表面出現粘合不牢固，無法粘合的情況，在應用粘合劑之前使用等離子體清洗機表面處理預處理來實現。經等離子清洗機處理后的材料，能夠使用迅速固化粘合劑，幾分鐘內即可完成結構粘合。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清
等離子清洗機，提高表面附著力
有一些材料表面非常平滑，在使用膠水互相粘接時，經常粘不牢，或不持久，嚴重影響產品品質。使用等離子清洗機可以將材料表面進行處理達到凹蝕蝕刻的效果，可提高材料間的粘接力與持久力，產品良率與產品品質也明顯提高。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清
等離子處理機提升表面潔凈度，改善粘接強度
等離子清洗機在光電子領域的應用：等離子刻蝕，等離子沉積，原子層沉積廣泛用于光電器件制造，包括VCSEL，激光二管，微透鏡，波導和單片微波集成電路（MMIC）等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和
等離子清洗機用于半導體晶圓清洗工藝
等離子清洗機在半導體晶圓清洗工藝中的應用：等離子體清洗機具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環境污染等問題。等離子清洗機常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應系統中通入少量的氧氣,在強電場作用下,使氧氣產生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發性氣體狀態物質被抽走。等離子清洗機在去膠工藝中具有操作方便、表面干凈、無劃傷、有利于確保產品的質量等優點,而且等離子清洗機不用酸、堿及有機溶劑等等離子清洗