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詞條說明
plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備的原理及應(yīng)用
1何謂plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備 ? plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染。plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備外接一臺(tái)真空泵,工作時(shí)清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,短時(shí)間的清洗就可以使有機(jī)污染物被地清洗掉,同時(shí)污染物被真空泵抽走,其清洗程度達(dá)到分子級(jí)。等離子清洗器除了具有超清洗功能外,在特定條件下還可根據(jù)需要改變
大氣常壓等離子表面處理機(jī) 常壓等離子表面處理機(jī)設(shè)備由等離子發(fā)生器、氣源輸入及等離子處理工作站等部分組成。等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在噴頭鋼管中被激活和被控制的輝關(guān)光放電中產(chǎn)生了低溫等離子體,借助壓縮空氣將等離子體噴向工件表面,當(dāng)?shù)入x子體與被處理物體表面相遇時(shí),產(chǎn)生了化學(xué)作用和物理變化,表面得到了清潔,去除了碳化氫類污物,如油?脂、輔助添加劑等,根據(jù)材料成分,其表面分子鏈結(jié)構(gòu)得到了改變
等離子清洗機(jī)設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用
????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中,晶圓表面會(huì)涂上光刻膠,然后光刻,顯影,但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介,當(dāng)光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后,需要進(jìn)行下一步的生長(zhǎng)或刻蝕的工藝,之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機(jī)可實(shí)現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體,同時(shí)通入氧氣或其他氣體,等離子體與光刻膠進(jìn)行反應(yīng),形成氣體被真空泵抽走 等離子清
等離子清洗機(jī)提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理等離子清洗機(jī)應(yīng)用于汽車制造涂裝烤漆前預(yù)處理,液晶玻璃表面清洗,電路板印刷,電鍍,除油污代替化學(xué)處理等等眾多領(lǐng)域。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī),等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī),plasma清洗機(jī),等離子去膠機(jī),等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處理
公司名: 煙臺(tái)金鷹科技有限公司
聯(lián)系人: 劉曉玲
電 話: 0535 -8236617
手 機(jī): 13573547231
微 信: 13573547231
地 址: 山東煙臺(tái)招遠(yuǎn)市山東招遠(yuǎn)高新開發(fā)區(qū)招金路518號(hào)
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網(wǎng) 址: ytjykj.cn.b2b168.com
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