等離子清洗機(jī)應(yīng)用于LCD行業(yè)

時(shí)間：2022-04-09作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：281

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• 詞條

  詞條說明

• plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備的原理及應(yīng)用

  1何謂plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備 ? plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染。plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備外接一臺(tái)真空泵，工作時(shí)清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時(shí)間的清洗就可以使有機(jī)污染物被地清洗掉，同時(shí)污染物被真空泵抽走，其清洗程度達(dá)到分子級(jí)。等離子清洗器除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變

• 大氣常壓等離子表面處理機(jī)設(shè)備

  大氣常壓等離子表面處理機(jī) 常壓等離子表面處理機(jī)設(shè)備由等離子發(fā)生器、氣源輸入及等離子處理工作站等部分組成。等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在噴頭鋼管中被激活和被控制的輝關(guān)光放電中產(chǎn)生了低溫等離子體，借助壓縮空氣將等離子體噴向工件表面，當(dāng)?shù)入x子體與被處理物體表面相遇時(shí)，產(chǎn)生了化學(xué)作用和物理變化，表面得到了清潔，去除了碳化氫類污物，如油?脂、輔助添加劑等，根據(jù)材料成分，其表面分子鏈結(jié)構(gòu)得到了改變

• 等離子清洗機(jī)設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用

  ????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會(huì)涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介，當(dāng)光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進(jìn)行下一步的生長(zhǎng)或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機(jī)可實(shí)現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體，同時(shí)通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進(jìn)行反應(yīng)，形成氣體被真空泵抽走 等離子清

• 等離子清洗機(jī)提高粘接性、表面改質(zhì)處理

  等離子清洗機(jī)提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理等離子清洗機(jī)應(yīng)用于汽車制造涂裝烤漆前預(yù)處理，液晶玻璃表面清洗，電路板印刷，電鍍，除油污代替化學(xué)處理等等眾多領(lǐng)域。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處理